Livello precedente |
Gabriel Giribaldi. Sc-doped AlN: high performance piezoelectric MEMS resonators and high-polarization ferroelectric. Rel. Matteo Cocuzza, Stefano Stassi. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2020