Thibaut Bourguignon
Sviluppo di un sensore di campo elettrostatico MEMS = Development of an electrostatic field MEMS sensor.
Rel. Carlo Ricciardi. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2020
Abstract
I sensori di campo elettrico piccoli ed a bassa potenza sono cruciali per molte applicazioni come per gli studi di metrologia, diversi utilizzi in campo aerospaziale ed anche per il monitoraggio di linee ad alta tensione (dall’inglese UHV, Ultra High Voltage). Nonostante negli ultimi due decenni molte soluzioni siano state proposte, nessuna di loro possiede i requisiti adatti siccome solitamente soffrono di una forte dipendenza dalla temperatura, del drift effect o di un’alta complessità data dal processo di fabbricazione. Infine, il sensore di campo elettrico più comune rimane l’electric field mill. Il suo principio di funzionamento è spesso adattato a sensori low scale: una tensione differenziale è ottenuta dalla schermatura periodica degli elettrodi di misura rispetto ad un elettrodo posto a ground.
In questa pubblicazione mostriamo che un MEMS (Micro Electro-Mechanical System) risonante basato su materiale piezoelettrico può essere utilizzato per raggiungere una risoluzione molto alta, con una bassa dipendenza dalla temperatura e senza rumore autoindotto
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