Le microvalvole sono dispositivi miniaturizzati che controllano il flusso di fluidi su scala micrometrica e sono ampiamente utilizzate in applicazioni biomediche, celle a combustibile ed elettronica. L'ingombro di una microvalvola è influenzato dalle nanomembrane utilizzate al suo interno come elemento di tenuta, che spesso presentano dimensioni laterali piuttosto ampie. Il diametro di una nanomembrana è tipicamente paragonabile alla dimensione laterale della microvalvola. Ridurre il diametro della nanomembrana mantenendone inalterate le prestazioni richiede strategie per migliorarne le prestazioni. La tesi ruota attorno allo sviluppo e all'ottimizzazione di tecniche di microfabbricazione, in particolare microlavorazioni in massa, per facilitare la fabbricazione di nanomembrane metalliche con una maggiore deflessione e una robustezza meccanica preservata, pur mantenendo le dimensioni laterali.