Towards dual sag reflowed microlenses

L'obiettivo di questa tesi di Master è quello di realizzare array di microlenti con un processo di reflow che produca almeno due sag (dual sag). Successivamente, diversi approcci sono stati elaborati e investigati. Partendo dalla procedura e dalle ricette convenzionali per la produzione di microlenti a sag singolo, vari parametri di processo sono stati sottoposti a modellazione fisica ed empirica. Questa iniziativa mirava a costruire un database completo e a familiarizzare con le complessità del processo. Per ogni approccio, le caratterizzazioni e la fabbricazione di array di microlenti single sag e dual sag sono state effettuate. In particolare, gli approcci che utilizzano l'esposizione UV in parallelo nella litografia convenzionale, generalmente più veloce e che implica un'elevata produttività, ma con sfide diverse, sono stati confrontati con un approccio che prevede l'esposizione seriale mediante scrittura laser diretta e che sfrutta l'opzione "scala di grigi" che genera un gradiente di dose.