Marco Zagarella
Optimization of NbTiN thin film sputtering and optical lithography for large area superconducting nanowire single photon detectors.
Rel. Renato Gonnelli. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2023
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Abstract
"I Superconducting Nanowire Single Photon Detectors (SNSPDs) rappresentano la tecnologia più avanzata per il counting di singoli fotoni, con alta risoluzione temporale, dall'ultravioletto (UV) al vicino infrarosso. La recente scoperta della sensibilità al singolo fotone nei superconducting wires di diemsione apre una promettente via di indagine per dispositivi con grandi aree attive, applicabili nella ricerca della materia oscura e nella fisica delle alte energie. D'altra parte, l'incorporazione di superconducting wires a scala micrometrica come elementi foto-sensibili negli SNSPDs può portare a significativi miglioramenti in termini di velocità, footprint e resa di fabbricazione. Tuttavia, l'attuale applicazione dei Superconducting Microwire Single Photon Detectors (SMSPDs) ha comportato una riduzione dell'efficienza intrinseca di rilevamento.
Il problema della bassa efficienza di rilevamento può essere affrontato attraverso l'utilizzo di film ad alta resistività
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