Luca Mazzone
NbTiN thin films for superconducting microwave resonators.
Rel. Renato Gonnelli. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2022
Abstract
Titolo della tesi: "Superconducting RF Resonators for Cryogenic Thermometry". La tesi servirà a contribuire alla realizzazione di risonatori sensibili a variazioni di temperatura in ampi apparati criogenici, ciò verrà fatto sperimentando, in cleanroom, l'uso di nuovi materiali (ad esempio basati su nitruri), oppure sviluppando nanostrutture. Tali dispositivi verranno successivamente testati a temperature < 10 K, utilizzando He liquido. Le possibili tasks della tesi saranno (riporto in seguito quanto scrittomi dal coordinatore dell'EPFL, Hernan Furci): • Simulate and analyze superconducting RF coplanar waveguide components and resonators. • Design, optimize and/or execute process flows at EPFL’s state-of-the-art CMi cleanroom: o Process flow conception, o Drawing individual devices and aggregated chip/wafer lithography layouts, o Characterization of the resulting components using SEM, AFM, and other metrology tools.
• Optimize processing and materials for pushing patterning resolution
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