NbTiN thin films for superconducting microwave resonators

Titolo della tesi: "Superconducting RF Resonators for Cryogenic Thermometry". La tesi servirà a contribuire alla realizzazione di risonatori sensibili a variazioni di temperatura in ampi apparati criogenici, ciò verrà fatto sperimentando, in cleanroom, l'uso di nuovi materiali (ad esempio basati su nitruri), oppure sviluppando nanostrutture. Tali dispositivi verranno successivamente testati a temperature < 10 K, utilizzando He liquido. Le possibili tasks della tesi saranno (riporto in seguito quanto scrittomi dal coordinatore dell'EPFL, Hernan Furci): • Simulate and analyze superconducting RF coplanar waveguide components and resonators. • Design, optimize and/or execute process flows at EPFL’s state-of-the-art CMi cleanroom: o Process flow conception, o Drawing individual devices and aggregated chip/wafer lithography layouts, o Characterization of the resulting components using SEM, AFM, and other metrology tools. • Optimize processing and materials for pushing patterning resolution