Capacitive CMOS compatible transducer design for particulate matter sensor

Il rilevamento capacitivo di particolato atmosferico (PM) è una tecnologia impegnativa. Ma l’integrazione su chip di un tale sensore consentirebbe una soluzione di rilevamento più economica, efficiente ma soprattutto integrabile. Il rilevamento capacitivo del PM può essere eseguito con una struttura a condensatore interdigitato (IDC). Tale progettazione è stata ampiamente descritta ed esistono già diversi modelli analitici per descrivere il loro comportamento elettrico e capacitivo. Questo lavoro mira a sviluppare un modello analitico per la risposta capacitiva di un IDC a un PM. Questo modello ha mostrato una precisione molto buona rispetto alla simulazione FEM, soprattutto per particelle piccole rispetto alle dimensioni di un elettrodo dell’IDC. Anche i limiti del modello sono ben definiti e descritti.