Polarimetric imaging for void detection in Silicon wafers

Anahit Hambardzumyan

Polarimetric imaging for void detection in Silicon wafers.

Rel. Carlo Ricciardi. Politecnico di Torino, NON SPECIFICATO, 2025

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Abstract:	Polarimetric Imaging for Advanced Semiconductor Inspection
Relatori:	Carlo Ricciardi
Anno accademico:	2025/26
Tipo di pubblicazione:	Elettronica
Numero di pagine:	59
Soggetti:
Corso di laurea:	NON SPECIFICATO
Classe di laurea:	Nuovo ordinamento > Laurea magistrale > LM-29 - INGEGNERIA ELETTRONICA
Aziende collaboratrici:	Unity semiconductor
URI:	http://webthesis.biblio.polito.it/id/eprint/37869

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