Design and process of a MEMs Passive shock sensor

In questo rapport sono presentati la progettazione e il processo di un sensore di shock MEMS (Mico Electro-Mechanical System). Il sensore di shock consiste in un detettore di accelerazione di soglia mono assiale con un sistema meccanico di latching e un meccanismo di reset. Il dispositivo è capace di rilevare un’accelerazione tipica di 500g e mantiene il suo stato di latch fino a quando il meccanismo di reset, basato su un attuatore comb drive, è attivato per sbloccare il gancio e rilasciare la massa di prova. Per migliorare l’immunità del dispositivo alle variabilità di fabbricazione, sono utilizzati dei contatti cilindrici e degli stoppers. Il dipositivo è progettato per avere un facile meccanismo di latching e un difficile meccanismo di rilascio grazie alla sua geometria e al fatto che l’attuatore del reset non ha nessun un collegamento meccanico con il gancio di latching durante la fase di rilevamento, quindi non aggiunge una forte resistenza nella fase di clamp. Per valutare la performance e i differenti aspetti della progettazione, un modello analitico e delle simulazioni numeriche su COMSOL multiphysics sono stati utilizzati. La fabricazione di questo tipo di sensore MEMS è stata analizzata e diversi esperimenti sono stati condotti per migliorarne il processo