Polarimetric imaging for void detection in Silicon wafers
Anahit Hambardzumyan
Polarimetric imaging for void detection in Silicon wafers.
Rel. Carlo Ricciardi. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2025
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Abstract
Polarimetric Imaging for Advanced Semiconductor Inspection
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