Development of a MEMS magnetometer

Questo rapporto riassume il mio progetto di tesi di laurea che ha avuto luogo presso l'ONERA di Chatillon. Durante queste ventidue settimane, sono entrato a far parte del team CMT specializzato nella progettazione di MEMS inerziali per applicazioni aerospaziali compresa l'elaborazione fino all'integrazione con l'elettronica di bordo. La ricerca del mio team si basa sulla necessità diretta dell'industria o sull'iniziativa personale dei membri del team. Inizialmente il lavoro era basato su accelerometri e girometri al quarzo, ma il campo tende ad allargarsi, prima con la realizzazione di magnetometri e risuonatori di riferimento temporale basati sul quarzo ma anche con i recenti soggetti che coinvolgono materiali promettenti come il sensore di gas basato sul grafene o il giroscopio in GaAs. Il mio lavoro dipendeva dalla ricerca svolta dal mio tutor durante il suo dottorato: la progettazione e la realizzazione del magnetometro MEMS. Innanzitutto, sono stato coinvolto nella caratterizzazione dei risonatori dedicati alla fabbricazione dei magnetometri. Questo lavoro consisteva in caratterizzazioni elettriche e ottiche dei dispositivi per valutare le loro prestazioni e determinare la loro cifra di merito: fattore di qualità e frequenza di risonanza. Quindi, partecipo allo sviluppo e al miglioramento di un processo di stanza pulita dedicato allo studio dell'impatto delle forme dei materiali magnetici depositati. Questa parte consisteva in un lavoro autosufficiente in camera bianca, ma anche riunioni periodiche per presentare i diversi risultati o problemi incontrati durante il processo.