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Sviluppo di un sensore di campo elettrostatico MEMS = Development of an electrostatic field MEMS sensor

Thibaut Bourguignon

Sviluppo di un sensore di campo elettrostatico MEMS = Development of an electrostatic field MEMS sensor.

Rel. Carlo Ricciardi. Politecnico di Torino, Master of science program in Nanotechnologies For Icts, 2020