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Duc Tan Tran.
Nanoscale simulation of the Atomic Layer Deposition process of Hafnium Dioxide.
Rel. Gianluca Piccinini, Fabrizio Mo, Chiara Elfi Spano, Yuri Ardesi. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Ingegneria Elettronica (Electronic Engineering), 2023
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