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Towards dual sag reflowed microlenses

Mohamed Khalil Lahmar

Towards dual sag reflowed microlenses.

Rel. Carlo Ricciardi. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2023

Abstract:

L'obiettivo di questa tesi di Master è quello di realizzare array di microlenti con un processo di reflow che produca almeno due sag (dual sag). Successivamente, diversi approcci sono stati elaborati e investigati. Partendo dalla procedura e dalle ricette convenzionali per la produzione di microlenti a sag singolo, vari parametri di processo sono stati sottoposti a modellazione fisica ed empirica. Questa iniziativa mirava a costruire un database completo e a familiarizzare con le complessità del processo. Per ogni approccio, le caratterizzazioni e la fabbricazione di array di microlenti single sag e dual sag sono state effettuate. In particolare, gli approcci che utilizzano l'esposizione UV in parallelo nella litografia convenzionale, generalmente più veloce e che implica un'elevata produttività, ma con sfide diverse, sono stati confrontati con un approccio che prevede l'esposizione seriale mediante scrittura laser diretta e che sfrutta l'opzione "scala di grigi" che genera un gradiente di dose.

Relators: Carlo Ricciardi
Academic year: 2023/24
Publication type: Electronic
Number of Pages: 51
Additional Information: Tesi secretata. Fulltext non presente
Subjects:
Corso di laurea: Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict)
Classe di laurea: New organization > Master science > LM-29 - ELECTRONIC ENGINEERING
Aziende collaboratrici: CSEM SA
URI: http://webthesis.biblio.polito.it/id/eprint/28996
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