Francesco Iozzi
Thermal laser process of thin silicon carbide deposited by PECVD.
Rel. Luciano Scaltrito, Sergio Ferrero. Politecnico di Torino, NON SPECIFICATO, 2024
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- Tesi
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Abstract: |
Processo Termico Laser di Silicon Carbide depositato in film sottile |
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Relatori: | Luciano Scaltrito, Sergio Ferrero |
Anno accademico: | 2023/24 |
Tipo di pubblicazione: | Elettronica |
Numero di pagine: | 97 |
Soggetti: | |
Corso di laurea: | NON SPECIFICATO |
Classe di laurea: | Nuovo ordinamento > Laurea magistrale > LM-29 - INGEGNERIA ELETTRONICA |
Aziende collaboratrici: | NON SPECIFICATO |
URI: | http://webthesis.biblio.polito.it/id/eprint/31007 |
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