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NbTiN thin films for superconducting microwave resonators

Luca Mazzone

NbTiN thin films for superconducting microwave resonators.

Rel. Renato Gonnelli. Politecnico di Torino, Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict), 2022

Abstract:

Titolo della tesi: "Superconducting RF Resonators for Cryogenic Thermometry". La tesi servirà a contribuire alla realizzazione di risonatori sensibili a variazioni di temperatura in ampi apparati criogenici, ciò verrà fatto sperimentando, in cleanroom, l'uso di nuovi materiali (ad esempio basati su nitruri), oppure sviluppando nanostrutture. Tali dispositivi verranno successivamente testati a temperature < 10 K, utilizzando He liquido. Le possibili tasks della tesi saranno (riporto in seguito quanto scrittomi dal coordinatore dell'EPFL, Hernan Furci): • Simulate and analyze superconducting RF coplanar waveguide components and resonators. • Design, optimize and/or execute process flows at EPFL’s state-of-the-art CMi cleanroom: o Process flow conception, o Drawing individual devices and aggregated chip/wafer lithography layouts, o Characterization of the resulting components using SEM, AFM, and other metrology tools. • Optimize processing and materials for pushing patterning resolution

Relatori: Renato Gonnelli
Anno accademico: 2022/23
Tipo di pubblicazione: Elettronica
Numero di pagine: 122
Informazioni aggiuntive: Tesi secretata. Fulltext non presente
Soggetti:
Corso di laurea: Corso di laurea magistrale in Nanotechnologies For Icts (Nanotecnologie Per Le Ict)
Classe di laurea: Nuovo ordinamento > Laurea magistrale > LM-29 - INGEGNERIA ELETTRONICA
Ente in cotutela: EPFL Microsystems laboratory (SVIZZERA)
Aziende collaboratrici: EPFL
URI: http://webthesis.biblio.polito.it/id/eprint/24783
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